手工拋光。手工拋光P0403BD是另一種可以采用的替代方法。手工拋光是手持樣品環(huán)在涂有相應(yīng)力度的α氧化鋁拋光膏加水,在短絨拋光布上進(jìn)行的短時(shí)間拋光。與振動(dòng)拋光相比,樣品更容易受到諸如“拉拔作用”或出現(xiàn)表面起伏之類的細(xì)部變形,因此,手工拋光的時(shí)間應(yīng)盡量短,以避免產(chǎn)生過度的表面起伏和細(xì)部變形(實(shí)際上這兩種情況有些不I可避免)。手工拋光分為如下粗拋光和細(xì)拋光兩個(gè)步驟。

    粗拋光。粗拋光是在短絨布上用1,0um或0,3um的α氧化鋁拋光膏加水進(jìn)行的拋光,拋光盤的轉(zhuǎn)速為150~⒛0〃min,壓力不超過lPa,持續(xù)1~2min。這個(gè)步驟的最后30s,施加的壓力要吏小一些。當(dāng)用比600號更細(xì)的研磨料(如l⒛0號)或用與之等效的拋光膜拋光時(shí),能縮短拋光的時(shí)問。

    細(xì)拋光。細(xì)拋光是在短絨布上用0.3um或0,05um的α氧化鋁拋光膏加水進(jìn)行的拋光,拋光盤的轉(zhuǎn)速為80~125〃min,壓力不超過10kPa,持續(xù)0.5~1min。這個(gè)步驟施加的壓力要更小一些。

   在粗拋光和細(xì)拋光之間,以及細(xì)拋光之后,樣品環(huán)應(yīng)該用中性洗滌劑溶液清洗并徹底漂洗。