聲學(xué)掃描顯微鏡檢查技術(shù)的發(fā)展趨勢

   聲學(xué)掃描電子顯微鏡檢查作為一種非破壞性試驗(yàn),在塑封器件的篩選和鑒定檢驗(yàn)中得到了廣泛的應(yīng)用。 G5128TB1U隨著電子元器件的發(fā)展,聲學(xué)掃描顯微鏡檢查的發(fā)展趨勢如下:

   (l)隨著塑封器件向小型化、輕型化方向發(fā)展,對(duì)掃描電子顯微鏡檢查也提出了更高的要求,聲掃試驗(yàn)會(huì)向著更高分辨率發(fā)展。因此,超聲探頭的頻率會(huì)向著越來越高的方向發(fā)展。

   (2)隨著對(duì)試驗(yàn)效率的提高,尤其是大批量篩選試驗(yàn)的要求,Thm~S△鼷掃描模式(脈沖透射掃描方式)的出現(xiàn)將能夠滿足這種要求。ThrLl-sCAN是全透式的掃描方式,發(fā)射的超聲脈沖在樣品上方掃描,超聲接收器在樣品下面接收穿透樣品的超聲脈沖。如果樣品內(nèi)部某處有缺陷,超聲脈沖無法通過,得到一幅黑白分明的圖像,這種功能適合大量樣品的快速篩選。與脈沖反射方式(A模式、B模式和C模式)相比,Thm~掃描模式具有以下特點(diǎn):

   ①該掃描模式需要兩個(gè)探頭,而反射方式僅需要一個(gè)探頭。

   ②利用透射波進(jìn)行檢測、一次掃描就能夠展現(xiàn)所有界面的分層等缺陷,無法確定具體哪個(gè)界面存在分層;而利用反射波進(jìn)行檢測,能夠確定具體哪一個(gè)界面存在分層,需要對(duì)樣品的兩面都迸行掃描才能檢測到所有界面存在的缺陷,能夠提供細(xì)節(jié)豐富的掃描圖片,可以通過峰值檢測、傳輸時(shí)間(TOF)和相位翻轉(zhuǎn)檢測等方式成像。

   ③相比反射方式,投射方式空間分辨率較低,通常可用于校驗(yàn)脈沖反射方式的檢測結(jié)果。

   層析掃描聲學(xué)顯微鏡(陰認(rèn)M)的發(fā)展使得聲學(xué)掃描顯微鏡檢查可以獲得被檢件的高分辨率三維圖像信慮、c陰認(rèn)M成像技術(shù)是一個(gè)復(fù)雜的過程,要獲得高分辨率的圖像需要對(duì)算法的深入研究。在計(jì)算機(jī)的控制下,樣品旋轉(zhuǎn)到每個(gè)最佳的角度上,用不同頻率進(jìn)行透射。在每個(gè)不同角度和頻率下獲得正交相位和同相位數(shù)據(jù);同時(shí),在每個(gè)角度下,通過工作平臺(tái)的成像獲取樣品旋轉(zhuǎn)中心。獲得準(zhǔn)確的重建圖像需要的投影次數(shù)主要依賴于樣品的結(jié)構(gòu),通常,投影數(shù)的增加可以改善重建圖像的質(zhì)量。